Page 4-4 : 静電容量式差圧検出器の原理
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【 静電容量式差圧検出器の原理 】
測定したい圧力が左右の接液ダイアフラムに加えられると、この圧力は封入液を介して中央の測定ダイアフラムに伝えられる。その結果測定ダイアフラムは差圧に対応してわずかに変位し、左右の固定電極との間の静電容量が差動的に変化する。これを増幅して差圧に比例した出力を得る。■
